KS3000-N 多濃度自動(dòng)配氣裝置
源于科斯達(dá)超過(guò)10年的SF6及環(huán)保氣體的研究,開(kāi)發(fā)了可用于各種氣體多種濃度的自動(dòng)配氣裝置:KS3000-N,裝置采用原裝進(jìn)口流量計(jì)和西門子PLC系統(tǒng)和觸摸屏控制;穩(wěn)定性、重復(fù)性高;配制的標(biāo)準(zhǔn)氣體準(zhǔn)確、可靠,易于量值傳遞和溯源,操作快捷。
技術(shù)特點(diǎn)
●可用于以下各種氣體的稀釋,包括但不僅限于:SF6、CF3I、3MTMNovecTM4710、CO2等;
●輸出的氣體比例為體積比;
●常規(guī)稀釋倍數(shù): 300:1,在該范圍內(nèi)可任意設(shè)置配氣濃度;
●操作簡(jiǎn)單,僅需輸入配氣的濃度即可;
●大流量或者超大稀釋倍數(shù)可根據(jù)顧客要求定制;
●稀釋后氣體的壓縮充灌設(shè)備可根據(jù)顧客要求定制;
●在某些應(yīng)用場(chǎng)合,由于輸出的氣體濃度是固定的,可設(shè)計(jì)成固定比例的配氣設(shè)備;
技術(shù)參數(shù)
流量重復(fù)性 | ≤±0.5% |
流量線性誤差 | ≤±0.3% |
配氣不確定度 | ±1% |
預(yù)熱時(shí)間 | 30min |
自動(dòng)調(diào)零 | 預(yù)熱結(jié)束后自動(dòng)調(diào)整MFC的零點(diǎn),或從預(yù)熱調(diào)零頁(yè)面重復(fù)調(diào)零 |
儀器電源 | 220VAC |
使用環(huán)境 | 5℃~45℃ |
外型尺寸 | 390mm寬x 120mm高x 390mm深 |
儀器重量 | 約9kg |
應(yīng)用案例
1、純SF6和N2可配置1%-99%的SF6氣體;
2、100ppm(V)的SF6和N2,可配置0.5ppm(V)到99ppm(V)的SF6氣體;
3、1000ppm(V)的SF6和N2,可配置5ppm(V)到999ppm(V)的SF6氣體;
本設(shè)備可根據(jù)顧客要求進(jìn)行定制,可定制為超過(guò)2種以上氣體的混合,可定制不同流量要求配氣設(shè)備;